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光學檢測設備

應力測量係統

超精密光學應力測量設備-硫係玻璃及Si,SiC,GaN等應力測量二維應力成像儀(yi) 衝(chong) 壓應變分析儀(yi) AutoGrid®comsmartHinds液晶麵板應力分布測量係統非球麵透鏡應力雙折射測量係統光彈性係數測量儀(yi) 光伏矽錠應力測量儀(yi)

偏振 | 雙折射成像設備

成像型穆勒矩陣測量係統定量雙折射成像係統雙折射顯微成像係統（abrio替代国产欧美在线）圓二色譜儀(yi) -高通量對映體(ti) 過量測量（ee）儀(yi) (EKKO CD)高精度波片相位延遲測量係統深紫外斯托克斯偏振態測量儀(yi)

激光幹涉儀

點衍射激光幹涉儀(yi) -大口徑（≥700mm）高精度（≤0.6nm RMS）無出口限製皮米級精度激光幹涉儀(yi) 相位偏折術/相位偏折測量係統λ/1000超高精度激光幹涉儀(yi) !納米表麵輪廓儀(yi) 高分辨率激光幹涉儀(yi) 馬赫增德爾/邁克爾遜光纖幹涉儀(yi) 白光幹涉顯微鏡及物鏡——三豐(feng) MitutoyoKaleo MultiWAVE多波長動態幹涉儀(yi) 皮米級絕對距離測量幹涉儀(yi) 通用光學測量儀(yi) ——波前/傾(qing) 角/輪廓測量三合一

膜厚測量儀

多波長橢偏儀(yi) /膜厚測量儀(yi) 半導體(ti) /薄膜無損檢測儀(yi)

MTF測量儀/傳函儀

Kaleo MTF測量工作站KALEO 多波長激光幹涉儀(yi) 模塊

反射率測量

光腔衰蕩光譜測量係統（ppm級超高精度反射率測量）雙向散射分布函數測量儀(yi) 雙向散射分布函數測量儀(yi) 光譜透過率測量係統掃描式分光光度計

相位延遲測量係統

高精度波片相位延遲測量係統