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激光幹涉儀

白光幹涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo

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提高幹涉信號對比度,即使高反射率部分和低反射率部分以各種形式存在,三豐WLI均可測量!

所屬類別:光學檢測設備 » 激光幹涉儀(yi)

所屬品牌:

国产欧美在线負責人:

姓名:穀工(Givin)

電話:185 1625 1863(微信同號)

郵箱:zonghao-gu@weilancj.com

WLI白光幹涉顯微鏡及物鏡——三豐(feng) Mitutoyo


三豐(feng) Mitutoyo新推出具有更高幹涉信號對比度,可以同時測高反射率部分和低反射率部分樣品的白光幹涉顯微鏡及物鏡。


国产欧美在线特點:

● 實現非接觸式3D表麵形狀測量和輪廓測量

可利用白光幹涉原理實現非接觸式高精度細微表麵性狀測量

(例如:3D形狀測量、3D粗糙度測量)

● 不依賴於(yu) 光學倍率的高度測量精度

即使是低倍率鏡頭,也可使用Z向高分辨力進行測量

● 高縱橫比測量

不依賴於(yu) 光學係統的NA進行檢測,支持高縱橫比形狀測量

● 抗幹擾震動的高穩定性

● 小型輕便


使用一般的WLI係統,測量不同反射率的国产欧美在线時:

當視野中包含高反射率和低反射率的部分

 1)配合反射率高的部分調整光量時,反射率低的部分會(hui) 光量不足。

 2)配合反射率低的部分調整光量時,反射率高的部分光量發生飽和,無法測量。

而使用三豐(feng) 的WLI測量反射率不同地方的測量時,當視野中包含反射率高部分和反射率低部分,光量對準反射率低的部分,也可測量反射率高的部分。


国产欧美在线規格:


貨號554-001554-002554-003
国产欧美在线名稱WLI-Unit-003WLI-Unit-005WLI-Unit-010
WLI-Unit傳感器測頭電纜長度5
適用物鏡WLI Plan Apo係列
成像倍率
焦距f(mm)100
掃描裝置物鏡掃描
尺寸/質量108×68×191mm/1.7kg
WLI測量Z向移動範圍8000 um
測量模式高通量標準高分辨率
WLI測量Z向範圍2100 um1900 um1700 um
通量 @ 20um範圍3 s4 s6 s
Z向分辨率 -4 nm
Z向重複性 -40 nm
軟件WLIPAKWLI-Unit控製庫SDK、示例代碼、WLIPAK示例GUI
WLI-Unit校準SW像素校準
分析軟件(推薦選件)MCubeMap
其它圖像采集卡/PCMatrox圖像采集卡(標配)/另需準備PC



案例:



白光幹涉測量用物鏡WLI Plan Apo


国产欧美在线特點:

  • 與(yu) WLI-Unit配套的新設計

  • 確保長工作距離,小型輕量化(齊焦距離60mm)

  • 高NA,高分辨力

  • 平場複消色差

  • 物鏡內(nei) 部搭載分光器和參考鏡

  • 標配幹涉條紋調整裝置


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