點衍射激光幹涉儀(yi) -大口徑(≥700mm)高精度(≤0.6nm RMS)無出口限製皮米級精度激光幹涉儀(yi) 相位偏折術/相位偏折測量係統λ/1000超高精度激光幹涉儀(yi) !納米表麵輪廓儀(yi) 高分辨率激光幹涉儀(yi) 馬赫增德爾/邁克爾遜光纖幹涉儀(yi) 白光幹涉顯微鏡及物鏡——三豐(feng) MitutoyoKaleo MultiWAVE多波長動態幹涉儀(yi) 皮米級絕對距離測量幹涉儀(yi) 通用光學測量儀(yi) ——波前/傾(qing) 角/輪廓測量三合一
WLI白光幹涉顯微鏡及物鏡——三豐(feng) Mitutoyo
三豐(feng) Mitutoyo新推出具有更高幹涉信號對比度,可以同時測高反射率部分和低反射率部分樣品的白光幹涉顯微鏡及物鏡。
国产欧美在线特點:
● 實現非接觸式3D表麵形狀測量和輪廓測量
可利用白光幹涉原理實現非接觸式高精度細微表麵性狀測量
(例如:3D形狀測量、3D粗糙度測量)
● 不依賴於(yu) 光學倍率的高度測量精度
即使是低倍率鏡頭,也可使用Z向高分辨力進行測量
● 高縱橫比測量
不依賴於(yu) 光學係統的NA進行檢測,支持高縱橫比形狀測量
● 抗幹擾震動的高穩定性
● 小型輕便
使用一般的WLI係統,測量不同反射率的国产欧美在线時:
當視野中包含高反射率和低反射率的部分
1)配合反射率高的部分調整光量時,反射率低的部分會(hui) 光量不足。
2)配合反射率低的部分調整光量時,反射率高的部分光量發生飽和,無法測量。
而使用三豐(feng) 的WLI測量反射率不同地方的測量時,當視野中包含反射率高部分和反射率低部分,光量對準反射率低的部分,也可測量反射率高的部分。
国产欧美在线規格:
貨號 | 554-001 | 554-002 | 554-003 | |
国产欧美在线名稱 | WLI-Unit-003 | WLI-Unit-005 | WLI-Unit-010 | |
WLI-Unit傳感器測頭 | 電纜長度 | 5 | ||
適用物鏡 | WLI Plan Apo係列 | |||
成像倍率 | 1× | |||
焦距f(mm) | 100 | |||
掃描裝置 | 物鏡掃描儀 | |||
尺寸/質量 | 108×68×191mm/1.7kg | |||
WLI測量 | Z向移動範圍 | 8000 um | ||
測量模式 | 高通量 | 標準 | 高分辨率 | |
WLI測量Z向範圍 | 2100 um | 1900 um | 1700 um | |
通量 @ 20um範圍 | 3 s | 4 s | 6 s | |
Z向分辨率 | - | 4 nm | ||
Z向重複性 | - | 40 nm | ||
軟件 | WLIPAK | WLI-Unit控製庫SDK、示例代碼、WLIPAK示例GUI | ||
WLI-Unit校準SW | 像素校準 | |||
分析軟件(推薦選件) | MCubeMap | |||
其它 | 圖像采集卡/PC | Matrox圖像采集卡(標配)/另需準備PC |
案例:
白光幹涉測量用物鏡WLI Plan Apo
国产欧美在线特點:
與(yu) WLI-Unit配套的新設計
確保長工作距離,小型輕量化(齊焦距離60mm)
高NA,高分辨力
平場複消色差
物鏡內(nei) 部搭載分光器和參考鏡
標配幹涉條紋調整裝置
国产欧美在线標簽:白光幹涉顯微鏡,白光幹涉儀(yi) ,3D形貌測量,三維形貌測量儀(yi) ,3D形貌成像,3D形貌成像儀(yi) ,白光幹涉物鏡,亞(ya) 納米形貌測量