點衍射激光幹涉儀(yi) -大口徑（≥700mm）高精度（≤0.6nm RMS）無出口限製皮米級精度激光幹涉儀(yi) 相位偏折術/相位偏折測量係統λ/1000超高精度激光幹涉儀(yi) !納米表麵輪廓儀(yi) 高分辨率激光幹涉儀(yi) 馬赫增德爾/邁克爾遜光纖幹涉儀(yi) 白光幹涉顯微鏡及物鏡——三豐(feng) MitutoyoKaleo MultiWAVE多波長動態幹涉儀(yi) 皮米級絕對距離測量幹涉儀(yi) 通用光學測量儀(yi) ——波前/傾(qing) 角/輪廓測量三合一
相位偏折術/相位偏折測量係統
偏折測量技術（PDM）又稱為(wei) 相位或條紋反射法，是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的麵形測量技術,絕對檢測精度可達10-20nm RMS,可以用於(yu) 平麵、球麵、非球麵、離軸拋物麵、自由曲麵等麵型的高精度檢測。具有測量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點。
上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看近日推出市麵上shou款商業(ye) 化的共軸偏折術測量係統，具有操作方便，檢測精度高（<15nm RMS）,国产成人在线观看免费网站範圍廣等特點。相位偏折測量係統主要由ccd相機 、LCD顯示屏和待測件三個(ge) 部分組成，係統配置如下圖。LCD顯示屏投射提前生成好的結構光正弦條紋，正弦條紋被待測鏡表麵反射後發生畸變，CCD相機采集畸變後的條紋，再利用相位斜率映射關(guan) 係從(cong) 畸變的條紋圖中計算出待測鏡梯度信息，再根據基梯度數據的麵形重構算法，重建出待測鏡的麵形。
圖1 偏折術測試係統
檢測精度高：<15nm RMS
測量範圍寬：能夠測量平麵、球麵、非球麵、離軸拋物麵、自由曲麵等；
對環境噪聲不敏感：具有非常強的抗環境幹擾；
係統搭建簡單、性價(jia) 比高：使用商業(ye) 化的配件，對成像光路沒有特殊要求。
圖2 平麵鏡（λ/10）檢測
圖3 球麵鏡（Thorlabs ,CM508-500-G01）檢測
圖4 離軸拋物麵鏡檢測
圖5 ONERA国产黄色在线观看TMA自由曲麵檢測（右側(ce) 為(wei) LUPHOScan輪廓儀(yi) 測試結果）
隨著工業(ye) 製造業(ye) 發展，我國在航空航天、高端裝備製造、汽車工業(ye) 、生物醫學與(yu) 通信和微電子高科技等領域方麵對鏡麵和鏡麵類等零件需求越來越大，其已經成為(wei) 了我國在通信行業(ye) 的關(guan) 鍵零件之一。製造過程中有一道必要工序就是麵形檢測，目前的常用檢測方法存在檢測效率低，檢測精度不滿足要求等問題，隨著上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看相位偏折測量係統（偏折術）推出，可以有效助力我國的科技項目。
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