光腔衰蕩光譜方法(CRDS, Cavity Ring-Down spectroscopy)是一種基於(yu) 高精細度諧振腔的高靈敏度探測技術,主要用於(yu) 測量各種反射率大於(yu) 99%的超高反射率反射鏡的反射率,測量精度可達百萬(wan) 分之一量級!
光腔衰蕩光譜方法通過對指數型的腔內(nei) 衰蕩信號的檢測,擺脫了激光能量輸出的起伏所引起的誤差。由兩(liang) 片99.99% 反射率組成的光腔對損耗的測量精度可達ppm量級。
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高反射鍍膜層損耗的精密測量
正入射反射率R>>99%的平麵或凹麵光學元件的損耗測量
精度dR/R<2ppm @ R>99.5%
檢測用激光波長可選(如≥355nm…532nm…633nm…1064nm…≤1319nm)
測量原理:
脈衝(chong) 光或快速開關(guan) 的連續光耦合進諧振腔
待測膜層在每次往返光程中經反射產(chan) 生損耗
時間相關(guan) 的輸出信號的測量得到衰蕩數據
脈衝(chong) 光往返時間已知,根據衰蕩的時間特點,得到反射率
技術指標:
測量反射率: R>>99%
精度: dR/R < 2ppm @ R>99.5%
樣品/基底要求*: ø1”Or 0.5”, 厚度~6mm
基底透明,後表麵平麵拋光
*0o正入射測量,其他要求可訂製。
供電電源:
激光器 100~240VAC, 50~60Hz
探測器 +/-9 VDC
接口: USB 2.0
含數據采集, A-D轉換,數據處理等模塊。軟件包括反射率分析、生產(chan) 數據錄入及處理等。
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