顯微鏡LED白光光源/固態光源多通道LED光源/固態多色光源高功率光纖耦合LED光源高功率光纖耦合LED白光源和單色光源470-700nm激光泵浦白光光源1.7MHz高速掃頻光源XWS-30 激光驅動白光光源LDLS（190-2500nm）XWS-65激光驅動白光光源LDLS（190-2500nm）TLS120Xe 高功率可調諧光源TLS波長帶寬可調諧激光器5-6um, 5.7-7.4um, 6-7.4um, 7.3-10.5um,9.5-13um可調諧脈衝(chong) 量子級聯紅外激光器5-13um可調諧脈衝(chong) 量子級聯紅外激光器EQ-99X激光驅動白光光源LDLS30W高功率UV-LED點光源（多波段，ALE/1係列）DLP/DMD光刻照明光源Radiantis奧裏亞(ya) （Oria Vis）飛秒紅外-可見光SHG倍頻器窄線寬激光器芯片及模塊国产欧美在线全自動生物醫學照明係統15W光纖耦合UV-LED點光源（ALE/3 係列）Santec HSL 高速掃頻光源70W 大功率 UV-LED曝光光源（ALE/2係列，12英寸基板）
所屬類別：可調諧激光器 | 光源 » 可調諧光源 | 寬帶光源
70W大功率 UV-LED曝光光源（ALE/2係列）
--- 適用於(yu) 12英寸大型基板曝光
ALE/2 係列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源，高達70W的i線(365nm)曝光,高達80W的寬帶曝光（350-450nm）,適用於(yu) 均勻度較高以及準直性能高的大型基板曝光工具（比如12英寸，8英寸），目前已廣泛試用在掩膜對準係統，步進係統(高端封裝）,準直曝光係統及大功率輻射要求的固化係統，ALE/2係列UV-LED曝光光源已成為(wei) 半導體(ti) 光刻製造及檢測領域中的一個(ge) 理想工具。
ALE/2係列UV-LED曝光光源是一款高性能紫外點光源，適用於(yu) 需要完美均勻和準直輻射的大型基材工業(ye) 泛光曝光工具。這些可能是8″（200毫米）或12″（300毫米）掩模對準器。它的紫外線輸出足夠強大，可以為(wei) 更大的裝置提供動力，正方形曝光麵積可達400 X 400毫米，在某些情況下，甚至超過這個(ge) 範圍。ALE/2采用UV-LED技術，具有優(you) 異的輸出穩定性和靈活的光譜控製，優(you) 於(yu) 傳(chuan) 統的高壓汞放電燈。此外，它還消耗更少的電力，產(chan) 生更少的熱量，持續時間更長，並且不需要太多的整體(ti) 維護。
ALE/2係列UV-LED曝光光源可以在光路中組合四個(ge) 反饋控製的高功率UV-LED。可提供i線（CWL 365 nm）和寬帶（CWL 365 / 405 / 436 nm）配置。在純i線工藝中，ALE/2 係列UV-LED曝光光源的性能可媲美額定功率高達5,000 W的傳(chuan) 統放電汞燈光源。對於(yu) 寬帶模式，ALE/2係列UV-LED曝光光源的照明功率也可與(yu) 2,000 W放汞燈光源相媲美。
ALE/2係列UV-LED曝光光源遵循分布式設計方法，通常由一個(ge) 控製子係統（CSS）+一個(ge) 單獨的曝光子係統（ESS）組成。ESS 的標準光出口是一個(ge) 16 mm X 16 mm 的光管 ，光引擎可以與(yu) 標準和定製的聚光光學元件結合使用，以實現高度均勻的曝光。
ALE/2係列UV-LED曝光光源国产成人在线观看免费网站場景：
| 半導體光刻製造（12英寸大基板） | 光固化国产成人在线观看免费网站和其他 |
| 掩膜對準係統 | 大麵積光固化（400mm） |
| 步進係統（高端封裝） | 高輻射劑量固化国产成人在线观看免费网站 |
| 準直曝光係統 | 紫外成像 |
| 晶圓光刻曝光 | |
| 晶圓缺陷檢測 |
ALE/2係列- 70W大功率-UV-LED曝光光源主要特點：
內(nei) 置解決(jue) 方案可實現更高曝光效率和性能；
高達70W的純i線曝光（365nm）;
高達80W的寬帶模式曝光（350-450nm）;
閉環光控製輸出；
無汞，綠色光源；
無需外部冷卻，更節能；
ALE/2係列 -70W大功率-UV-LED曝光光源性能展示：
ALE/2係列大功率UV-LED曝光光源規格參數：
| 發光單元選項 | 多大4個波長，如365nm, 385nm，405nm,435nm |
| 輸出功率 | up to 80W@寬帶， up to 70W@i線-365nm |
| 數值孔徑 | NA 0.3(2a ~35°) 配合標準聚光鏡 （condenser） |
| 控製配置 | 1、獨立的LED電源管理和預設； 2、高分辨率強度調整（10%-100%）； 3、LED上升時間<1ms； 4、持續監控光輸出和反饋控製； |
| 通訊接口 | 1、離散PLC接口（TTL）； 2、USB(串行)； 3、以太網/MOdbuS TCP/IP （可選）； |
| 熱管理 | 1、帶內(nei) 部散熱器的液體(ti) 冷卻（Standard mode）； 2、外部冷卻器（可選項），（performance mode ）; |
| 尺寸（W H D） | ESS 21 x 21 x 36cm ； CSS 44 x18 x 37cm ; |
| 重量 | ESS 4Kg ; CSS 10Kg ; |
| 電源輸入 | 110-240V/ 50-60Hz / 1500W |
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