對不同的激光的光束質量(M2),需要選擇不同的光束勻化解決(jue) 方案。
一, 對於(yu) M^2>10的激光器。
1,微透鏡陣列:我們(men) 可以提供複眼透鏡(微透鏡陣列)來進行勻化。組成:單片或雙片透鏡陣列。輸出光斑形狀:為(wei) 長/正方形或六邊形。
2,鼓型透鏡陣列 :鼓型透鏡常用於(yu) 半導體(ti) 光刻機,或LCD光刻機,PCB光刻機中對光源進行勻化,其由一片透鏡組成。
二, 對於(yu) M^2< 10的激光器,微透鏡陣列會(hui) 產(chan) 生很多幹涉亮斑,所以不是最理想的選擇。
1,高透過率diffuser:針對這類激光器,我們(men) 可以提供一種新型的PRIME beamshaper(單片鏡片)。PRIME的特點是,對光斑尺寸不敏感,對光斑位置不敏感,對放置位置不敏感,從(cong) 而使的調試變得非常簡單,同時也減輕了M^<10的激光器配合複眼透鏡使用時會(hui) 出現的過多幹涉亮斑。組成:單片鏡片。輸出光斑形狀:可以根據客戶的要求設計成各種形狀。
2,方形光纖:較傳(chuan) 統的圓形光纖,方形/八邊形光纖具有更高的耦合效率,極低的焦比退化,和出色的擾模勻化效果。普通的高斯分布激光,通過此類光纖後,可得到平頂光,光斑能量極為(wei) 均勻。傳(chuan) 輸波長範圍可覆蓋160nm~2500nm,多種芯徑和數值孔徑(NA)可選。
三, 對於(yu) M^2~1(接近高斯光束)的單模激光,
我們(men) 可以提供一種和光束整形透鏡,用來實現平頂分布。這種器件的相對於(yu) 一般的光束整形元件而言,具有體(ti) 積小(單片透鏡),成本低,方便安裝等優(you) 勢。組成:單片鏡片。輸出光斑:可根據客戶選擇進行設計。