中文：微納光刻；英文：micro/nano lithography

解釋
中文：微納光刻；英文：micro/nano lithography的原理；中文：微納光刻；英文：micro/nano lithography的定義；中文：微納光刻；英文：micro/nano lithography是什麽。
 利用光束、電子束或離子束曝光係統，將預製的母版微納結構圖形轉移到塗覆於基底（如矽片）上的抗蝕劑或光刻膠中的光刻工藝。
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