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的反射,通過菲涅耳公式得到光學參數和偏振態之間的關(guan) 係來確定光學薄膜折射率和厚度。因其準確度高且為(wei) 非破壞性測量,是測量光學薄膜折射率和厚度zui常用的一種測量儀(yi) 器。橢圓偏振術的數學模型為(wei) 式中:— 偏振角;Δ— 兩(liang) 個(ge) 偏振分量的相位差經薄膜後所發生的變化;d — 薄膜厚度;n0— 空氣折射率;n1— 薄膜折射率;n2— 襯底折射率;— 入射角度;— 入射光波長。和Δ分別反映了偏振光經過薄膜反射前後強度和相位的變化,統稱為(wei) 橢偏角。目前,基於(yu) 橢偏角的橢偏儀(yi) 校準方法主要采用的是空氣測量法。空氣測量法驗證橢偏角準確度的過程是調整光譜型橢偏儀(yi) 入射角,使入射光直接入射到其接收器。由於(yu) 偏振光直接經過空氣進入接收器 ...
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