對光譜型橢偏儀(yi) 校準結果受測量模型影響大的問題進行研究，提出一種不受測量模型影響的校準方法，即通過校準橢偏角實現光譜型橢偏儀(yi) 的校準。
光譜型橢偏儀(yi) 的校準（二）-橢偏儀(yi) 的基本原理
針對光譜型橢偏儀(yi) 校準結果受測量模型影響大的問題進行研究，提出一種不受測量模型影響的校準方法，即 通過校準橢偏角實現光譜型橢偏儀(yi) 的校準。依據橢偏儀(yi) 測量原理，通過仿真分析確定實現較大範圍內(nei) 橢偏角校準所需標準樣片的薄膜厚度量值，並采用半導體(ti) 熱氧化工藝製備出性能穩定的膜厚標準樣片。
橢偏儀(yi) 是利用橢圓偏振術對透明薄膜進行無損測量的一種儀(yi) 器，它是利用偏振光在薄膜上下表麵的反射，通過菲涅耳公式得到光學參數和偏振態之間的關(guan) 係來確定光學薄膜折射率和厚度。因其準確度高且為(wei) 非破壞性測量，是測量光學薄膜折射率和厚度zui常用的一種測量儀(yi) 器。
橢圓偏振術的數學模型為(wei)
式中:
— 偏振角；
Δ— 兩(liang) 個(ge) 偏振分量的相位差經薄膜後所發生的變化；
d — 薄膜厚度；
n0— 空氣折射率；
n1— 薄膜折射率；
n2— 襯底折射率；
— 入射角度；
— 入射光波長。
和Δ分別反映了偏振光經過薄膜反射前後強度和相位的變化，統稱為(wei) 橢偏角。目前，基於(yu) 橢偏角的橢偏儀(yi) 校準方法主要采用的是空氣測量法。
空氣測量法驗證橢偏角準確度的過程是調整光譜型橢偏儀(yi) 入射角，使入射光直接入射到其接收器。由於(yu) 偏振光直接經過空氣進入接收器，可以認為(wei) 偏振光狀態並未發生改變，因此上式右側(ce) 的結果為(wei) 1，通過對其求解得到
=45°，Δ= 0。
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