中文:光致抗蝕劑;英文:photo resist

解釋
中文:光致抗蝕劑;英文:photo resist的原理;中文:光致抗蝕劑;英文:photo resist的定義;中文:光致抗蝕劑;英文:photo resist是什麽。
簡稱“抗蝕劑”。又稱“光刻膠”。光照後能改變抗蝕能力的高分子化合物。分為正性光致抗蝕劑和負性光致抗蝕劑。正性光致抗蝕劑受光照部分發生降解反應而能為顯影液所溶解。負性光致抗蝕劑受光照部分產生交鏈反應而成為不溶物,非曝光部分能被顯影液溶解。