中文：甩膠；英文：spin coating

關鍵詞
解釋
中文：甩膠；英文：spin coating的原理；中文：甩膠；英文：spin coating的定義；中文：甩膠；英文：spin coating是什麽。
 在基片上塗覆液態光致抗蝕劑並旋轉基片，使光致抗蝕劑在基片上形成均勻膜層的工藝。