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下圖所示使用平行平晶對橢偏儀(yi) 的橢偏角進行驗證。此時,按照斯涅爾定律和折射定律式上述兩(liang) 個(ge) 定律可以轉換為(wei) 式中:rp— P 光反射係數;rs— S 光反射係數;θ1—入射角;θ2— 折射角;n1 — 空氣折射率;n2 — 平行平晶折射率。求解上式可得:此時,我們(men) 能夠很容易發現:橢偏角隻與(yu) 平行平晶的折射率相關(guan) ,因此,隻要確定了平行平晶的折射率即可得到橢偏角。下圖給出了使用折射率為(wei) 1.46的平行平晶驗證光譜型橢偏儀(yi) 橢偏角的實例。其中被校橢偏儀(yi) 的入射角度為(wei) 65°,求解上式可得的理論值為(wei) 14.48°, Δ 的理論值為(wei) 0° ,實際測量結果與(yu) 理論值相差不超 過 ±0.5°。(a)橢偏角驗證結果 (b)橢偏角Δ驗 ...
是使用空氣和平行平晶作為(wei) 標準,對橢偏儀(yi) 特定橢偏角的測量結果進行驗證,但是這並不能保證橢偏角在全範圍內(nei) 的量值準確可靠。基於(yu) 以上分析,有必要給出一種更為(wei) 完善的橢偏角校準方法,以保證光譜型橢偏儀(yi) 橢偏角在較大範圍內(nei) 測量結果的準確可靠,我們(men) 稱他為(wei) 樣片測量法。根據橢偏儀(yi) 測量流程可知,首先需要測量被測樣品得到橢偏角參數,然後建立測量模型通過擬合的方式得到薄膜的厚度。對於(yu) 光譜型橢偏儀(yi) 而言,不同材料、不同薄膜厚度的樣片,對應的橢偏參數是不相同的。假定被測樣品材料固定,則橢偏角和薄膜厚度建立了對應的關(guan) 係,使用不同厚度的薄膜樣片就可以實現橢偏角的校準,測量形式如圖1所示。圖1 模型固定的橢偏儀(yi) 測量形式目前,矽作為(wei) 較 ...
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