空氣測量法驗證橢偏角準確度的過程是調整光譜型橢偏儀(yi) 入射角，使入射光直接入射到其接收器。由於(yu) 偏振光直接經過空氣進入接收器，可以認為(wei) 偏振光狀態並未發生改變。
光譜型橢偏儀(yi) 的校準（三）-空氣測量法
空氣測量法隻需要驗證光譜型橢偏儀(yi) 測量得到的橢偏角是否與(yu) 理論值相同即可驗證其橢偏角的測量準確度，使用可變角度橢偏儀(yi) 進行驗證，實驗結果如下圖所示。橢偏角 
和Δ的偏差不超過±0.1°，與(yu) 理論分析結果吻合良好。
(a)橢偏角
驗證結果
(b)橢偏角Δ驗證結果
但是，由於(yu) 不是所有光譜型橢偏儀(yi) 的入射角度是可變的，直接測量空氣的方法具有一定的局限性。為(wei) 了適用於(yu) 入射角度不能改變的光譜型橢偏儀(yi) 橢偏角的校準，可以国产成人在线观看免费网站改進的空氣測量法:使用上下表麵平行度好且材質均勻的透明材料作為(wei) 標準對橢偏角的準確度進行驗證。如下圖所示使用平行平晶對橢偏儀(yi) 的橢偏角進行驗證。
此時，按照斯涅爾定律
和折射定律式
上述兩(liang) 個(ge) 定律可以轉換為(wei)
式中:
rp— P 光反射係數；
rs— S 光反射係數；
θ1—入射角；
θ2— 折射角；
n1 — 空氣折射率；
n2 — 平行平晶折射率。
求解上式可得：
此時，我們(men) 能夠很容易發現：橢偏角
隻與(yu) 平行平晶的折射率相關(guan) ，因此，隻要確定了平行平晶的折射率即可得到橢偏角
。
下圖給出了使用折射率為(wei) 1.46的平行平晶驗證光譜型橢偏儀(yi) 橢偏角的實例。其中被校橢偏儀(yi) 的入射角度為(wei) 65°,求解上式可得
的理論值為(wei) 14.48°, Δ 的理論值為(wei) 0° ,實際測量結果與(yu) 理論值相差不超 過 ±0.5°。
(a)橢偏角
驗證結果
(b)橢偏角Δ驗證結果
以上方法使用空氣和平行平晶作為(wei) 標準，對橢偏儀(yi) 特定橢偏角的測量結果進行驗證，但是這並不能保證橢偏角在全範圍內(nei) 的量值準確可靠。
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1彭希鋒,陳爽,李海星,熊朝暉.基於(yu) 激光位移傳(chuan) 感器的麵角度測量技術研究[J].儀(yi) 器儀(yi) 表學報,2017,38(11):2735-2743.
2浦昭邦,陶衛,張琢.角度測量的光學方法[J].光學技術,2002,28(2):168-171.
3劉文德,陳赤,於(yu) 靖,徐英瑩,樊其明,張靜.相調製光譜橢偏儀(yi) 校準研究[J].計量技術,2011(7):40-42.
4楊坤,王向朝,步揚.橢偏儀(yi) 的研究進展[J].激光與(yu) 光電子學進展,2007,44(3):43-49.
5徐鵬,劉濤,王林梓,李國光,熊偉(wei) ,榮健.樣品校準法在單波長橢偏儀(yi) 中的国产成人在线观看免费网站[J].光學學報,2013(4):84-91.
6代貞強,李大海,楊麗(li) 傑,鄂可偉(wei) ,王琴,王雪敏.基於(yu) 光線角度標定的坐標測量方法[J].光學與(yu) 光電技術,2015,0(3):29-33.
7張繼濤,李岩,羅誌勇.一種可溯源的光譜橢偏儀(yi) 標定方法[J].物理學報,2010(1):186-191.
8韓誌國,李鎖印,趙琳,馮(feng) 亞(ya) 南,梁法國.一種光譜型橢偏儀(yi) 的校準方法[J].中國測試,2017,43(12):1-6.
9林啟敬,吳昊,張福政,王琛英,蔣莊德.Cu/Ti納米薄膜表麵形貌的分形表征研究[J].計量學報,2018,39(5):593-597.
10朱緒丹,張榮君,鄭玉祥,王鬆有,陳良堯.橢圓偏振光譜測量技術及其在薄膜材料研究中的国产成人在线观看免费网站[J].中國光學,2019,12(6):1195-1234.
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