想要確保位移台的精準可控，進而提高精確度，必須對位移台的各方麵誤差運動進行分析。本文描述傾(qing) 斜、軸向和徑向誤差運動的概念，以期幫助理解位移台的誤差分析事項。更具體(ti) 的誤差分析，請參考相關(guan) 文章。
位移台的傾(qing) 斜、軸向和徑向誤差運動
傾(qing) 斜、軸向和徑向誤差運動
測量設置：
當載物台旋轉時，它不會(hui) 圍繞垂直 Z 軸完運動，在其他 5 個(ge) 自由度中存在額外的誤差運動：
• 垂直方向運動：軸向誤差運動
• 在垂直於(yu) 旋轉軸的平麵上的運動：徑向誤差運動。總是有 2 個(ge) 線性分量 X 和 Y
• 軸圍繞 X 軸和 Y 軸的傾(qing) 斜。傾(qing) 斜是通過用已知 Z 軸方向間距的分開的 2 個(ge) 探頭進行測量得到的測量量。根據兩(liang) 個(ge) 探頭之間的差異，我們(men) 計算傾(qing) 斜角。
總徑向誤差是徑向平移和軸傾(qing) 斜的組合。我們(men) 測量轉子表麵正上方的徑向誤差。平台上越高的位置，徑向誤差越大，因為(wei) “傾(qing) 斜”的貢獻不斷增加。兩(liang) 個(ge) 軸承之間的總徑向誤差最小，但該位置實際不可接近。
下圖是通過對平台位置每 X 度執行一次測量，然後繪製線性或極坐標圖而生成的。探針可以在 X 方向或 Y 方向上定向，得到類似的結果。
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