振鏡的性能對於(yu) 掃描成像設備而言非常重要，PSD（位敏探測器）作為(wei) 測量裝置，能夠對振鏡的關(guan) 鍵性能包括位置重複性和不平行度進行檢測。本文借助PSD設計了不同的光路對振鏡進行測試，得到一個(ge) 集光機電軟為(wei) 一體(ti) 的非接觸式測量裝置。
PSD在振鏡性能測試中的国产成人在线观看免费网站(一)
振鏡以其高掃描效率常用於(yu) 各種掃描成像設備之中，其質量直接影響了zui終的成像質量，因此對它的性能進行檢測顯得尤為(wei) 重要。本文基於(yu) 位置敏感探測器（PSD）設計了一款光機電軟一體(ti) 的非接觸式測量裝置，能夠有效對振鏡的各項性能做出分析。
同時PSD作為(wei) 測試係統中的敏感探測器件，其性能的好壞對於(yu) 整個(ge) 測試係統精度有著很大的影響，因此首先需要設計一個(ge) 唯yi平台對PSD進行性能測試。基於(yu) 二維數控位移台的二維光學測試平台如圖1所示，整個(ge) 平台由激光器支架，半導體(ti) 激光器和電控二維位移平台組成。
圖1 基於(yu) 二維數控位移台的二維光學測試平台
PSD在測試係統中主要用於(yu) 靜止/動態零位重複性，振鏡反射鏡與(yu) 電機軸的不平行度測量，測量依賴於(yu) 二維PSD兩(liang) 個(ge) 方向的位置信息，二維PSD在x和y兩(liang) 個(ge) 方向均具有對稱性，因此我們(men) 隻針對其中的x正方向進行測試，測試結果如表1所示。
表1 二維PSD在x（0~5mm）方向的測試數據
根據z小二乘法和對稱性可以擬合計算出在-5mm~5mm量程範圍內(nei) 的擬合曲線，得到如圖2所示的結果，計算可以得到PSD在x方向的非線性為(wei) 0.7%，遲滯誤差為(wei) 0.1%。
圖2 二維PSD在x方向的數據和擬合曲線
除了位置線性度之外，時間漂移也是一個(ge) 較為(wei) 重要的影響參數。我們(men) 將激光器的光點固定在PSD敏感麵的某一個(ge) 位置，每隔一段時間記錄PSD的輸出值，持續時間五分鍾，得到如表2所示的數據。可以得到對於(yu) 二維PSD而言，在x和y方向的時間漂移影響很小，考慮到輸出量程均超過10V，時間漂移小於(yu) 0.1%。
表2 PSD的時間漂移特性數據
根據上述數據可以發現PSD的非線性誤差無法完全消除，對於(yu) 振鏡而言其測試精度要求很高，必須保證PSD在測試過程中有足夠高的精度。為(wei) 了能夠簡單的提高其測測試精度，在測試前會(hui) 有一個(ge) 簡單的標定過程。
將一個(ge) 安裝在標準夾具上的標準反射鏡固定在和振鏡同軸的步進電機上，因此來代替振鏡反射鏡的擺動過程，標準夾具可以保證標準反射鏡和掃描電機轉軸完全平行。當步進電機收到脈衝(chong) 信號之後就會(hui) 帶動固定在轉軸上的反射鏡轉動，每轉動一次就采集對應的電壓值，zui後通過插值擬合出轉動角度和電壓之間的擬合曲線，以擬合的曲線作為(wei) 標準進行計算和測試。
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