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高精度緊湊型壓電旋轉台

所屬類別:位移台 | 偏轉鏡 | 旋轉台 » 旋轉台 | 偏擺台

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国产欧美在线負責人:

姓名:於(yu) 工(Grin)

電話:131 2782 0466(微信同號)

郵箱:huaijian-yu@weilancj.com

高精度緊湊型壓電旋轉台


AU-XRT係列壓電旋轉台是一款緊湊的高精度的旋轉平台。該係列旋轉台采用軸承技術,使壓電旋轉平台的徑向、軸向和傾(qing) 斜方向上的旋轉誤差小。該係列平移台由滑塊驅動和超聲波馬達兩(liang) 種驅動方式,可進行連續旋轉,對角度無限製,並且集成了光學編碼器閉環控製,使壓電旋轉台擁有極高的分辨率和可重複性。

上海昊量光電設備有限国产黄色在线观看推出的壓電旋轉台按照使用馬達的不同可以分為(wei) 兩(liang) 類。

1)使用超聲波馬達驅動的旋轉台,AU-XRT-U係列。

AU-XRT-U係列是由超聲波壓電馬達驅動的緊湊的旋轉台。其與(yu) 空氣軸承旋轉台擁有相媲美的旋轉精度和誤差但是卻擁有更小的體(ti) 積和更低廉的價(jia) 格。與(yu) 其它壓電技術相比超聲波壓電電機擁有更長的使用壽命、更低的功耗並且無噪聲。並且集成了光學編碼器閉環控製,精度可達到0.0002°,速度可達到1080°/s。該係列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40兩(liang) 款旋轉台。

Fig1 運動誤差測量

Fig2 AU-XRT-U


2)滑塊式壓電馬達驅動旋轉台AU-XRT-A.

AU-XRT-A采用滑塊式壓電馬達驅動,利用軸承技術,即使在旋轉過程中也可以主動將徑向誤差運動補償(chang) ,AU-XRT-A的徑向誤差小於(yu) 500nm,可以與(yu) 空氣軸承精度相媲美,並且體(ti) 積緊湊價(jia) 格低廉,並且可以提供真空和磁性国产成人在线观看免费网站的国产欧美在线。

Fig3. 運動誤差測量

Fig4.AU-XRT-A旋轉台


主要特點

l  高精度(200μ°)

l  高速度(1080°/s)

l  可在真空10-6mbar和磁性(1.5T)條件使用

主要国产成人在线观看免费网站

l  微型CT掃描儀(yi)

l  X射線衍射係統

l  電子顯微鏡

l  同步加速器

l  計量學

 

国产欧美在线參數:


AU-XRT-U30

AU-XRT-U40

AU-XRT-A

Drive   principle:

ultrasonic   piezo motor

stick-slip

Radial   error motion:

<   5 µm (-SB) or < 1 µm (-PB)

down   to 500 nm

Axial   error motion:

<   3 µm (-SB) or < 0.5 µm (-PB)

<   1 µm

Tilt   (wobble):

<   50 µrad (-PB)

<   100 µrad

Load   capacity:

<   1 kg

≤   1 N (100 g)

aperture:

7mm

10   mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor


Driving   torque:

14   Nmm

20   Nmm


Holding   torque:

7   Nmm

10   Nmm


Speed:

from   8 m°/s up to 3 rev/s

±   2 rpm

Resolution:

6.25   m° (-S)

6.25   m° (-S) or 200 µ° (-P)

6.25   m° (-S)




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