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同步源測係統RTM2-製樣無需複雜光刻(樣機可試用)
昊量光電全新推出的同步源測係統RTM2。利用同步源測係統RTM2的集成開關(guan) 矩陣實現無限的精度和穩定性用於(yu) 片狀、霍爾和電阻張量的測量。
同步源測係統RTM2具有極高精度的霍爾效應測量,無需光刻圖案,適用各種形狀樣品。測量電阻範圍從(cong) Nano-Ohm 到Tera-Ohms,高達8位以上動態範圍。
集成多功能開關(guan) 矩陣結構,可完全取代鎖相放大器、源測量單元、數字萬(wan) 用表和模擬矩陣開關(guan) 。
同步源測係統RTM2主要功能:
同步源測係統RTM2專(zhuan) 為(wei) 自動精密測量電阻和相關(guan) 量而設計。半導體(ti) 參數分析儀(yi) RTM2將直流和交流測量與(yu) 獨特的集成開關(guan) 矩陣結合在一起。
同步源測係統RTM2具有鎖定放大器的低噪、具有高端萬(wan) 用表 8 位以上的動態範圍和無與(yu) 倫(lun) 比的穩定性,可研究 ppb 級效應。nΩ研究變得前所未有的簡單。
創新的連接器設計允許傳(chuan) 統的 BNC 操作與(yu) 被動屏蔽或主動防護屏蔽。這將直流阻抗上限擴展到了 Tera-Ohm 範圍,並將交流帶寬提高了約兩(liang) 個(ge) 數量級,以測試MΩ器件。
同步源測係統RTM2隻需一台設備就能自動記錄完整的電阻張量(Rx、Ry、RH),即使是在無圖案的薄膜上。
同步源測係統RTM2可用於(yu) 材料研究、薄膜表征以及傳(chuan) 感器、晶片和設備測試。在快速多路複用設置中進行交流測試的獨特能力,可在現場生產(chan) 過程中實現更嚴(yan) 格的元件分選。
同步源測係統RTM2開關(guan) 矩陣的優(you) 點:
萬(wan) 用表或鎖相放大器等傳(chuan) 統精密設備依賴於(yu) 與(yu) 被測設備(DUT)靜態連接的四線電阻測量方法。這種方法不可避免地會(hui) 受到來自被測設備和測量設備本身的各種幹擾影響。
惠斯通電橋或平版印刷霍爾條圖案等測量安排可用於(yu) 減少某些幹擾的影響,但它們(men) 都依賴於(yu) 實際電阻器或蝕刻圖案的精確和穩定的對稱性,這在實踐中是無法實現的。
相比之下,矩陣開關(guan) 可以在時域中分離幹擾的影響。其中一個(ge) 例子是van-der-Pauw範德堡方法,它可以精確區分縱向和橫向電阻,即使是在沒有光刻圖案的不規則形狀樣品上也是如此。
另一個(ge) 例子是某些直流儀(yi) 表采用的 "自動歸零(auto-zeroing)",以補償(chang) 偏移漂移。但這還不夠。同步源測係統RTM2的全矩陣切換功能及其與(yu) 緊密多路交流測量的完全兼容性為(wei) 我們(men) 帶來了無限可能。
可以對偏移和增益漂移進行補償(chang) ,從(cong) 而實現無限的穩定性。這裏的 "無限 "是字麵意思:可實現的精度不是 7、8 或 10 位數,而是您願意等待的位數。在自己的實驗室裏進入計量圈子吧!
還可以對整個(ge) 儀(yi) 器的複合非線性進行補償(chang) 。這樣就可以測試亞(ya) ppm 級的 I-V 非線性,從(cong) 而在較低和較溫和的電流密度下看到更高階的傳(chuan) 輸物理。
同步源測係統RTM2突出亮點
基於(yu) 集成開關(guan) 矩陣的可重構設備架構
8 個(ge) 用戶自定義(yi) 端口(BNC 連接器),功能(輸入、輸出和/或參考)可自由確定
BNC 屏蔽可配置為(wei) 無源接地或有源屏蔽
使用固定連接(開爾文或霍爾幾何)進行傳(chuan) 統的交流和直流 4 線測量
交替連接的交流和直流測量(電阻張量測量、範-德-波測量或電阻率測量)
同時測量薄膜縱向和橫向電阻的精確絕對值,無需光刻圖案
常用測量模式的軟件預設,可指定任何用戶特定的切換序列
基於(yu) TCP 的通信,可輕鬆集成到任何環境中(如 Labview、C、Python)
同步源測係統RTM2主要的優(you) 勢:
可替代所有用於(yu) 電氣特性測量的標準設備(例如鎖定放大器、SMU、DMM)
通過集成的矩陣開關(guan) 克服了靜態 4 點測量的局限性
提供範-德-波測量和電阻張量測量的預設值,並允許用戶進行全麵配置
無需進行複雜的樣品製備(如平版印刷)。
節省測量時間,提高樣品吞吐量
同步源測係統RTM2主要的国产成人在线观看免费网站領域
材料研究與(yu) 表征
固體(ti) 物理
半導體(ti) 物理
磁性器件
柔性電子器件
自旋電子學
新型功能電子材料和器件
工業(ye) 研發和晶片/設備測試
微電子設備
存儲(chu) 器
晶體(ti) 管、二極管
LED/OLED
太陽能電池
顯示器、TCO
傳(chuan) 感器
同步源測係統RTM2典型測試示例:
在標準幾何結構(開爾文和霍爾布局)中進行超低噪聲、高穩定性交流和直流 4 線測量
對不規則、無結構薄膜樣品進行範德保開關(guan) 連接 4 線測量
基礎物理學和計量學中的亞(ya) ppm 相對變化和非線性測量
零偏移霍爾 4 線測量(即使是非結構化樣品,也能準確分離縱向電阻和橫向電阻)
比率電阻測量,消除樣品和設備漂移
高驅動諧波失真測量
脈衝(chong) 和測量例程
設備前麵板包括:1. 8個(ge) BNC端口,用於(yu) 多個(ge) 模擬功能:驅動、感測、參考相位鎖定。2. LED指示燈,用於(yu) 指示端口功能:輸入(白色箭頭)或輸出(藍色箭頭)。3. 冷卻風流入口(請勿阻擋)。4. 便於(yu) 攜帶和機架安裝的把手。5. 19英寸機架安裝孔。
設備後麵板包括:6. 2個(ge) BNC端口,用於(yu) 多個(ge) 數字功能:觸發、閾值檢查、PWM。7. 以太網連接器,用於(yu) 主要的TCP通信。8. 帶保險絲(si) 和開關(guan) 的主電源插口。9. 設備信息顯示。10. 冷卻風流出口(請勿阻擋)。
電氣規格
模擬輸出 | |
對稱輸出 | DC to 60 kHz, ±20 V, ±200 mA |
輸出噪聲底限 | < -150 dBFS |
積分非線性誤差 | 5 ppm |
時間分辨率 | 2µs脈衝(chong) 和任意波形模式 |
開關(guan) 矩陣 | |
矩陣大小 | 8接口x 4模擬功能 |
大開關(guan) 頻率 | 1 kHz |
開關(guan) 電阻 | 2.5 Ω, SNS: 5.0 Ω |
浮動列阻抗 | 0.5 TΩ || 5 pF |
測量 | |
BJT輸入(SNS+和SNS-的複合) | 1.5 nV/√Hz, 2500 fA/√Hz |
FET輸入噪聲(SNS+和SNS-的複合) | 8 nV/√Hz, 2 fA/√Hz |
FET輸入負載 | <1 pA, 0.1 pA/V, 8 pF |
電阻測量噪聲底線 | 10 nΩ/√Hz(直接BJT輸入) |
<1 nΩ/√Hz(變壓器耦合的FET輸入) | |
增益變化 | 100 ppm/K |
<1 ppm/K(比例模式) | |
1 ppb(在有熱穩定參考的比例模式) | |
直流偏置電壓變化 | ±1 μV/K, ±3 ppm/K |
<0.1 ppm/K (差分模式) |
範圍 | |
串聯電阻 | 4, from 100 Ω to 20 MΩ |
輸出電壓測量 | 4, log, from 20 V to 2 V |
輸入電壓測量 | 8, log, from 20 V to 100 mV |
電流測量 | 4 per resistor, log, from 200 mA to 100 nA |
在範圍內(nei) 的基本精度 | <1 ppm滿量程,用於(yu) 輸出電壓和電流 |
<0.1 ppm滿量程,用於(yu) 輸入電壓 | |
在一個(ge) 範圍內(nei) 的連續動態範圍 | > 8 digits |
相位和頻率同步 | |
輸出端口 | 任何一個(ge) 前端BNC端口 |
輸入端口 | 固定:任何前端的BNC |
動態:跟隨任何模擬函數 | |
同步範圍 | 2 Hz到50 kHz,任意相移 |
波形類型 | 輸出:正弦波 |
輸入:任意信號(鎖定到主導頻率) |
數字I/O端口 | |
信號電平 | 單端3.3V cmos邏輯,正極觸發 |
帶寬 | 10 MHz |
輸入函數 | HI/LO,觸發(解調或脈衝(chong) 產(chan) 生),pwm -模擬計數器,聯鎖 |
輸出函數 | HI/LO,同步脈衝(chong) (開始解調或脈衝(chong) 產(chan) 生),模擬- pwm輸出,限位指示 |
時間延遲 | < 100 ns(到數字I/O功能) |
< 50 µs(模擬I/O功能) | |
輸出脈衝(chong) 形狀 | 100µs HI脈衝(chong) ,否則為(wei) LO |
硬件/安裝
大小 | 19英寸機架安裝設備,2個(ge) 高度單位,32厘米深度 |
功率需求 | <75 W,通用AC單相AC輸入,C14連接器 |
操作範圍 | 0°C - 50°C,無冷凝濕度 |
前端連接器 | BNC, 50 Ω型,防護罩可切換為(wei) 防護罩或底盤 |
後端連接器 | BNC, 50 Ω型,屏蔽連接到機箱 |
通訊端口 | 以太網 |
製冷 | 增壓氣流從(cong) 前到後 |
前端LED指示燈 | 操作,通道選擇,都是可調的和可分離的 |
Tensormeter RTM2 19英寸機架安裝設備
軟件包,包括LabVIEW和Python的客戶端代碼示例(無需驅動程序)
Tensormeter RTM2用戶指南,包括TCP命令、操作參數指南
帶F型連接器的主電源電纜(根據需要提供其他類型)
以太網電纜
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