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電流源表

同步源測係統RTM2-製樣無需複雜光刻

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快速霍爾效應測量係統RTM2-製樣無需複雜光刻&集成多功能開關矩陣結構

所屬類別:電子學測試儀(yi) 器 » 電流源表

所屬品牌:

国产欧美在线負責人:

姓名:李工(Maple)

電話:130 2028 5269(微信同號)

郵箱:qiang-li@weilancj.com

同步源測係統RTM2-製樣無需複雜光刻(樣機可試用



昊量光電全新推出的同步源測係統RTM2。利用同步源測係統RTM2集成開關(guan) 矩陣實現無限的精度和穩定性用於(yu) 片狀、霍爾和電阻張量的測量。

同步源測係統RTM2具有極高精度的霍爾效應測量,無需光刻圖案,適用各種形狀樣品。測量電阻範圍從(cong) Nano-Ohm 到Tera-Ohms,高達8位以上動態範圍。

集成多功能開關(guan) 矩陣結構,可完全取代鎖相放大器、源測量單元、數字萬(wan) 用表和模擬矩陣開關(guan) 。


同步源測係統RTM2主要功能:

  1. 同步源測係統RTM2專(zhuan) 為(wei) 自動精密測量電阻和相關(guan) 量而設計。半導體(ti) 參數分析儀(yi) RTM2直流交流測量與(yu) 獨特的集成開關(guan) 矩陣結合在一起。

  2. 同步源測係統RTM2具有鎖定放大器的低噪、具有高端萬(wan) 用表 8 位以上的動態範圍和無與(yu) 倫(lun) 比的穩定性,可研究 ppb 級效應。nΩ研究變得前所未有的簡單。

  3. 創新的連接器設計允許傳(chuan) 統的 BNC 操作與(yu) 被動屏蔽或主動防護屏蔽。這將直流阻抗上限擴展到了 Tera-Ohm 範圍,並將交流帶寬提高了約兩(liang) 個(ge) 數量級,以測試MΩ器件

  4. 同步源測係統RTM2隻需一台設備就能自動記錄完整的電阻張量(Rx、Ry、RH),即使是在無圖案的薄膜上。

  5. 同步源測係統RTM2可用於(yu) 材料研究、薄膜表征以及傳(chuan) 感器、晶片和設備測試。在快速多路複用設置中進行交流測試的獨特能力,可在現場生產(chan) 過程中實現更嚴(yan) 格的元件分選。




同步源測係統RTM2開關(guan) 矩陣的優(you) 點:

  1. 萬(wan) 用表或鎖相放大器等傳(chuan) 統精密設備依賴於(yu) 與(yu) 被測設備(DUT)靜態連接的四線電阻測量方法。這種方法不可避免地會(hui) 受到來自被測設備和測量設備本身的各種幹擾影響。

  2. 惠斯通電橋或平版印刷霍爾條圖案等測量安排可用於(yu) 減少某些幹擾的影響,但它們(men) 都依賴於(yu) 實際電阻器或蝕刻圖案的精確和穩定的對稱性,這在實踐中是無法實現的。

  3. 相比之下,矩陣開關(guan) 可以在時域中分離幹擾的影響。其中一個(ge) 例子是van-der-Pauw範德堡方法,它可以精確區分縱向和橫向電阻,即使是在沒有光刻圖案的不規則形狀樣品上也是如此。

  4. 另一個(ge) 例子是某些直流儀(yi) 表采用的 "自動歸零(auto-zeroing)",以補償(chang) 偏移漂移。但這還不夠。同步源測係統RTM2的全矩陣切換功能及其與(yu) 緊密多路交流測量的完全兼容性為(wei) 我們(men) 帶來了無限可能。

  5. 可以對偏移和增益漂移進行補償(chang) ,從(cong) 而實現無限的穩定性。這裏的 "無限 "是字麵意思:可實現的精度不是 7、8 或 10 位數,而是您願意等待的位數。在自己的實驗室裏進入計量圈子吧!

  6. 還可以對整個(ge) 儀(yi) 器的複合非線性進行補償(chang) 。這樣就可以測試亞(ya) ppm 級的 I-V 非線性,從(cong) 而在較低和較溫和的電流密度下看到更高階的傳(chuan) 輸物理。



同步源測係統RTM2突出亮點

  • 基於(yu) 集成開關(guan) 矩陣的可重構設備架構

  • 8 個(ge) 用戶自定義(yi) 端口(BNC 連接器),功能(輸入、輸出和/或參考)可自由確定

  • BNC 屏蔽可配置為(wei) 無源接地或有源屏蔽

  • 使用固定連接(開爾文或霍爾幾何)進行傳(chuan) 統的交流和直流 4 線測量

  • 交替連接的交流和直流測量(電阻張量測量、範-德-波測量或電阻率測量)

  • 同時測量薄膜縱向和橫向電阻的精確絕對值,無需光刻圖案

  • 常用測量模式的軟件預設,可指定任何用戶特定的切換序列

  • 基於(yu) TCP 的通信,可輕鬆集成到任何環境中(如 Labview、C、Python)


同步源測係統RTM2主要的優(you) 勢:

  • 可替代所有用於(yu) 電氣特性測量的標準設備(例如鎖定放大器、SMU、DMM)

  • 通過集成的矩陣開關(guan) 克服了靜態 4 點測量的局限性

  • 提供範-德-波測量和電阻張量測量的預設值,並允許用戶進行全麵配置

  • 無需進行複雜的樣品製備(如平版印刷)。

  • 可輕鬆連接多種不同的測量裝置(如探針台低溫恒溫器、真空係統等)

  • 節省測量時間,提高樣品吞吐量


同步源測係統RTM2主要的国产成人在线观看免费网站領域

材料研究與(yu) 表征

  • 固體(ti) 物理 

  • 半導體(ti) 物理

  • 磁性器件 

  • 柔性電子器件

  • 自旋電子學 

  • 新型功能電子材料和器件


工業(ye) 研發和晶片/設備測試

  • 微電子設備 

  • 存儲(chu) 器

  • 晶體(ti) 管、二極管 

  • LED/OLED 

  • 太陽能電池 

  • 顯示器、TCO 

  • 傳(chuan) 感器


同步源測係統RTM2典型測試示例:

  • 在標準幾何結構(開爾文和霍爾布局)中進行超低噪聲、高穩定性交流和直流 4 線測量

  • 對不規則、無結構薄膜樣品進行範德保開關(guan) 連接 4 線測量

  • 基礎物理學和計量學中的亞(ya) ppm 相對變化和非線性測量

  • 零偏移霍爾 4 線測量(即使是非結構化樣品,也能準確分離縱向電阻和橫向電阻)

  • 比率電阻測量,消除樣品和設備漂移

  • 高驅動諧波失真測量

  • 脈衝(chong) 和測量例程


同步源測係統RTM2軟件界麵:


同步源測係統RTM2規格參數:



同步源測係統RTM2国产欧美在线示意圖

設備前麵板包括:1. 8個(ge) BNC端口,用於(yu) 多個(ge) 模擬功能:驅動、感測、參考相位鎖定。2. LED指示燈,用於(yu) 指示端口功能:輸入(白色箭頭)或輸出(藍色箭頭)。3. 冷卻風流入口(請勿阻擋)。4. 便於(yu) 攜帶和機架安裝的把手。5. 19英寸機架安裝孔。


設備後麵板包括:6. 2個(ge) BNC端口,用於(yu) 多個(ge) 數字功能:觸發、閾值檢查、PWM。7. 以太網連接器,用於(yu) 主要的TCP通信。8. 帶保險絲(si) 和開關(guan) 的主電源插口。9. 設備信息顯示。10. 冷卻風流出口(請勿阻擋)。


同步源測係統RTM2技術參數

電氣規格

模擬輸出

對稱輸出

DC to 60 kHz, ±20 V, ±200 mA 

輸出噪聲底限

< -150 dBFS  

積分非線性誤差

5 ppm 

時間分辨率

2µs脈衝(chong) 和任意波形模式


開關(guan) 矩陣

矩陣大小

8接口x 4模擬功能

大開關(guan) 頻率

1 kHz 

開關(guan) 電阻

2.5 Ω, SNS: 5.0 Ω 

浮動列阻抗

0.5 TΩ || 5 pF

測量

BJT輸入(SNS+SNS-的複合)

1.5 nV/√Hz, 2500 fA/√Hz 

FET輸入噪聲(SNS+SNS-的複合)

8 nV/√Hz, 2 fA/√Hz 

FET輸入負載

<1 pA, 0.1 pA/V, 8 pF 

電阻測量噪聲底線

10 nΩ/√Hz(直接BJT輸入)

<1 nΩ/√Hz(變壓器耦合的FET輸入)

增益變化

100 ppm/K  

<1 ppm/K(比例模式)

1 ppb(在有熱穩定參考的比例模式)

直流偏置電壓變化

±1 μV/K, ±3 ppm/K  

<0.1 ppm/K (差分模式

範圍

串聯電阻

4, from 100 Ω to 20 MΩ 

輸出電壓測量

4, log, from 20 V to 2 V

輸入電壓測量

8, log, from 20 V to 100 mV 

電流測量

4 per resistor, log, from 200 mA to 100 nA 

在範圍內(nei) 的基本精度

<1 ppm滿量程,用於(yu) 輸出電壓和電流

<0.1 ppm滿量程,用於(yu) 輸入電壓

在一個(ge) 範圍內(nei) 的連續動態範圍

> 8 digits  

相位和頻率同步

輸出端口

任何一個(ge) 前端BNC端口

輸入端口

固定:任何前端的BNC

動態:跟隨任何模擬函數

同步範圍

2 Hz50 kHz,任意相移

波形類型

輸出:正弦波

輸入:任意信號(鎖定到主導頻率)


數字I/O端口

信號電平

單端3.3V cmos邏輯,正極觸發

帶寬

10 MHz

輸入函數

HI/LO,觸發(解調或脈衝(chong) 產(chan) 生)pwm -模擬計數器,聯鎖

輸出函數

HI/LO,同步脈衝(chong) (開始解調或脈衝(chong) 產(chan) 生),模擬- pwm輸出,限位指示

時間延遲

< 100 ns(到數字I/O功能)

< 50 µs(模擬I/O功能)

輸出脈衝(chong) 形狀

100µs HI脈衝(chong) ,否則為(wei) LO



硬件/安裝


大小

19英寸機架安裝設備,2個(ge) 高度單位,32厘米深度

功率需求

<75 W,通用AC單相AC輸入,C14連接器

操作範圍

0°C - 50°C,無冷凝濕度

前端連接器

BNC, 50 Ω型,防護罩可切換為(wei) 防護罩或底盤

後端連接器

BNC, 50 Ω型,屏蔽連接到機箱

通訊端口

以太網

製冷

增壓氣流從(cong) 前到後

前端LED指示燈

操作,通道選擇,都是可調的和可分離的



同步源測係統RTM2貨物清單:


  • Tensormeter RTM2 19英寸機架安裝設備

  • 軟件包,包括LabVIEW和Python的客戶端代碼示例(無需驅動程序)

  • Tensormeter RTM2用戶指南,包括TCP命令、操作參數指南

  • 帶F型連接器的主電源電纜(根據需要提供其他類型)

  • 以太網電纜


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