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合法计算激光束腰宽度和远场发散角，从而计算出激光的M2。图1 光束质量测量原理示意图衰减组件热致相差对光束质量因子的影响仿真要测量高功率激光光束质量，需要将激光功率衰减至微瓦量级，衰减光学元器件在强激光作用下会产生热形变，引发激光热致像差，zui终影响M2的测量。本文通过COMSOL软件对激光热致形变进行仿真，并将产生的相差增加到激光复振幅上，以此研究出激光热致像差对激光光束质量因子M2的影响。仿真参数和结果分别如表1和图2所示，其中激光波长为1080nm，光斑半径为24.3mm，激光模式为单模，环境温度为20℃，光学器件材料为熔石英玻璃。表1 熔石英玻璃参数图2 熔石英玻璃在3KW功率下的热 ...
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