中文:接觸式光刻;英文:contact printing / contact lithography

解釋
中文:接觸式光刻;英文:contact printing / contact lithography的原理;中文:接觸式光刻;英文:contact printing / contact lithography的定義;中文:接觸式光刻;英文:contact printing / contact lithography是什麽。
將擬製備圖形的掩模板直接和塗有抗蝕劑或光刻膠的基底(如矽片)進行接觸,利用光束進行曝光,將掩模上的圖形複製到抗蝕劑或光刻膠中的光刻工藝。
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