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高精度中空回射器/角反射器(各種精度、各種形狀、中空回射器陣列)
小型傅裏葉紅外光譜儀(yi) (2-16um紅外光譜儀(yi) )
描參考鏡獲得傅裏葉光譜實現光譜測量,光源的光譜分布是中心波長為(wei) 610nm和半峰全寬為(wei) 170 nm。該技術較大地拓寬了光譜帶寬,增強了光強,測量結果更加準確。橢偏儀(yi) 大多采用透鏡將寬帶光束聚集在樣品表麵,然而透射式光學係統設計無法滿足寬光譜的測量要求,在深紫外情況下會(hui) 產(chan) 生明顯的色差問題。直到 2013 年,電子科技大學物理電子學院和中科院微電子所改變聚焦成像係統,研製了基於(yu) 全反射聚焦光學係統的深紫外(DUV)寬帶光譜橢偏儀(yi) 。該橢偏儀(yi) 采用基於(yu) 離軸拋物麵鏡和平麵反射鏡的全反射式光學係統實現寬光譜(200-1000 nm)測量,離軸拋物麵鏡用於(yu) 產(chan) 生或聚焦準直 光束,平麵反射鏡用於(yu) 改變光束方向並補償(chang) 由離軸 ...
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