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中文:激光劃片;英文:laser scribing
關鍵詞
激光劃片
laser scribing
解釋
中文:激光劃片;英文:laser scribing的原理;中文:激光劃片;英文:laser scribing的定義;中文:激光劃片;英文:laser scribing是什麽。
一種利用高相幹激光束將外延晶圓大片分割成小芯片的工藝。與傳統的金剛刀機械劃片不同,該工藝具有切縫小、對芯片的熱和機械損傷小等優點。
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中文:外延;英文:epitaxy
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