中文：探针式轮廓术；英文：probe profllometry-昊量光电

关键词

解释

利用探针沿着预先设定好的路线对被检非球面进行逐点扫描，得到非球面表面各测量点相对于某一测量基准的绝对矢高的轮廓测量方法。可通过软件对测量的离散点数据进行处理并与理论值相对比，直接得到非球面表面各点的三维坐标值和非球面表面形状误差。