中文：顯影實時監測；英文：in-situ monitoring of develoμment

解釋
中文：顯影實時監測；英文：in-situ monitoring of develoμment的原理；中文：顯影實時監測；英文：in-situ monitoring of develoμment的定義；中文：顯影實時監測；英文：in-situ monitoring of develoμment是什麽。
 光刻膠光柵在製作顯影中，按檢測激光某一非零級衍射條紋強度要求的實時監測過程。