中文：掃描幹涉場曝光；英文：scanning beam interference exposure

解釋
中文：掃描幹涉場曝光；英文：scanning beam interference exposure的原理；中文：掃描幹涉場曝光；英文：scanning beam interference exposure的定義；中文：掃描幹涉場曝光；英文：scanning beam interference exposure是什麽。
 兩束小截麵高斯激光相幹涉形成直線度誤差為幾納米的幹涉條紋，通過精密工作台的二維運動以掃描方式將幹涉條紋記錄於光刻膠上的一種感光過程。