中文：光柵幹涉儀；英文：grating interferometer

解釋
中文：光柵幹涉儀；英文：grating interferometer的原理；中文：光柵幹涉儀；英文：grating interferometer的定義；中文：光柵幹涉儀；英文：grating interferometer是什麽。
 一種基於衍射原理的橫向錯位幹涉儀。它在有環境幹擾的情況下具有良好的穩定性。幹涉信號是由光柵上衍射的兩束光波順序互相重疊產生，計算兩束光之間的相位差可獲得測量值。