中文：米勞幹涉儀；英文：Mirau interferometer

解釋
中文：米勞幹涉儀；英文：Mirau interferometer的原理；中文：米勞幹涉儀；英文：Mirau interferometer的定義；中文：米勞幹涉儀；英文：Mirau interferometer是什麽。
 一種嵌入顯微物鏡中的緊湊型幹涉儀。其測試光路和參考光路共用一個光路，測量時不會引入附加光程差。用於測量物體表麵微觀輪廓、表麵紋理等參數，縱向測量分辨率可達亞納米量級。