中文:鎖相幹涉儀;英文:phase-locked interfero-meter

解釋
中文:鎖相幹涉儀;英文:phase-locked interfero-meter的原理;中文:鎖相幹涉儀;英文:phase-locked interfero-meter的定義;中文:鎖相幹涉儀;英文:phase-locked interfero-meter是什麽。
一種運用鎖相技術的光學幹涉儀。其原理是使用探測器將幹涉圖樣轉換為電信號,然後去控製幹涉臂或者參考臂,從而實現幹涉條紋的穩定。為了測量一個區域,探測器需要掃描整個波前,由於掃描速度會發生改變,含有大量條紋的幹涉圖可以通過鎖相幹涉儀測量出來,重複精度可以達到百分之一波長。