中文：散射板幹涉儀；英文：scatter plate interfero-meter

解釋
中文：散射板幹涉儀；英文：scatter plate interfero-meter的原理；中文：散射板幹涉儀；英文：scatter plate interfero-meter的定義；中文：散射板幹涉儀；英文：scatter plate interfero-meter是什麽。
 利用一種弱散射板作分束器的一種共路幹涉儀。儀器的準單色點光源經透鏡和散射板成像在被檢測鏡麵，並反射返回，再次通過散射板，成像於像平麵，形成鏡麵反射光和散射光的幹涉條紋，以檢測鏡麵缺陷。