中文：粗糙度幹涉顯微鏡；英文：roughness inter-ference microscope

解釋
中文：粗糙度幹涉顯微鏡；英文：roughness inter-ference microscope的原理；中文：粗糙度幹涉顯微鏡；英文：roughness inter-ference microscope的定義；中文：粗糙度幹涉顯微鏡；英文：roughness inter-ference microscope是什麽。
 用於測量零件表麵粗糙度的幹涉顯微鏡。其表麵粗糙度的測量範圍在納米量級。