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觀測。它通過磁光調製技術來調整接收光的偏振方向;采用麵陣探測器獲取樣品表麵的橢偏圖像;采取用磁光調製器取代傳(chuan) 統步進電機轉動起偏器、補償(chang) 器或檢偏器光軸的方法來實現橢偏儀(yi) 的測量,采用磁光調製器改變接收光的偏振方向,可以得到更高的偏振方向控製精度和重複精度,而且磁光調製器的調製速度更快。該技術給成像橢偏儀(yi) 發展提供了新的方向,較大地提高了測量速度。如果您對橢偏儀(yi) 相關(guan) 国产欧美在线有興(xing) 趣,請訪問上海昊量光電的官方網頁:https://www.weilancj.com/three-level-56.html相關(guan) 文獻:1薛利軍(jun) , 李自田, 李長樂(le) , 等 . 光譜成像儀(yi) CCD 焦平 麵組件非均勻性校正技術研究[J ...
nm。通過與(yu) 磁光調製、時間相移和雙反射等技術的結合,光譜橢偏技術提高了測量速度和準確性。通過與(yu) Muller矩陣的結合,光譜橢偏技術不再受光學分辨率極限的限製,提高了測量的準確性,可以獲得更豐(feng) 富的信息。2019年華中科技大學發明了基於(yu) 液晶調相的垂直物鏡式Muller矩陣成像橢偏儀(yi) ,該儀(yi) 器所用係統改變了之前普通傾(qing) 斜鏡麵成像的結構,根本上避免了焦深小、視場窄的問題,可實現高分辨率、寬視場測量,可用於(yu) 對納米薄膜幾何參數的測量。2018年韓國朝鮮大學提出用於(yu) 表征多層膜結構的大麵積光譜成像橢偏儀(yi) ,利用寬帶光源和成像光譜儀(yi) ,光譜範圍可以達到400-800nm。準直光束通過擴束器擴展,直徑達到30mm,通過低 ...
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