單次測量光波導或者光子器件中的折射率,由於(yu) 光波導低損耗的特性，因此在光子設備和係統中被大量使用。光波導的折射率分布是決(jue) 定插入損耗和傳(chuan) 播模式的關(guan) 鍵參數。基於(yu) 定量相位成像技術（QPI），Phascis的波前分析儀(yi) 可以作為(wei) 測量折射率變化的高精度計量儀(yi) 器。準確測量折射率變化，對於(yu) 生產(chan) 光子器件的開發、優(you) 化和質量監控是必要的。作為(wei) 一種非破壞性測量方法，QPI可提供精確的波導折射率分布。SID4成像係統適用於(yu) 測量光纖或激光寫(xie) 入波導。
光波導折射率測量
單次測量光波導或者光子器件中的折射率
由於(yu) 光波導低損耗的特性，因此在光子設備和係統中被大量使用。光波導的折射率分布是決(jue) 定插入損耗和傳(chuan) 播模式的關(guan) 鍵參數。基於(yu) 定量相位成像技術（QPI），Phascis的波前分析儀(yi) 可以作為(wei) 測量折射率變化的高精度計量儀(yi) 器。準確測量折射率變化，對於(yu) 生產(chan) 光子器件的開發、優(you) 化和質量監控是必要的。作為(wei) 一種非破壞性測量方法，QPI可提供精確的波導折射率分布。SID4成像係統適用於(yu) 測量光纖或激光寫(xie) 入波導。
集成在光學顯微鏡
Phascis定量相位成像（QPI）相機安裝在經典明場顯微鏡上，並且無需修改顯微鏡。Phasics輸出的相位圖可以輕易的轉化為(wei) 折射率，如下所示，OPD=(n2-n1)*d，其中n2和n1分別是周圍材料的折射率，並且波導和d是折射率變化區的厚度。
光波導測量結構
波導成像可以在兩(liang) 種不同裝置中完成：在XY或者正交平麵。Phascis定量相位相機測量波導產(chan) 生的光程差(OPD)。知道波導的機械尺寸後，就可以直接檢索折射率值。
OPD(nm)=(n波導-n稱底)*機械厚度(mm)
光波導測量結構（正交）
上圖顯示，波導在正交配置中被切片和測量。
測量示例
optical path Difference (OPD) map
Changes of refractive index map
Waveguide design validation
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