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異質結構厚度測量
基於(yu) ZnO的異質結構用於(yu) LED国产成人在线观看免费网站。在異質結構中使用多對相同的層來放大光發射。使用MProbe UVVisSr係統(200nm -1000nm)測量層的厚度並驗證其光學色散。該結構具有重複60次(ZnO/Al2O3) × 60次的ZnO和Al203層對。
為(wei) 了確定ZnO和Al2O3的光學常數，測量了這兩(liang) 種材料的兩(liang) 厚樣品。
圖1 厚氧化鋁樣品的測量:模型與(yu) 測量的擬合。測定了Al2O3的厚度和光學常數。
測量厚度:269 nm(光色散見圖2)
圖2 測量所得Al2O3的光學色散。
色散用柯西近似表示
圖3 Al2O3薄樣品。從(cong) 厚Al2O3樣品測定的光學色散在這裏被用來驗證樣品的性質是有效的薄膜。厚度測定為(wei) 7.7nm。圖表顯示了模型與(yu) 實測數據的擬合
圖4 厚ZnO薄膜:模型與(yu) 實測數據的擬合。厚度和光色散由擬合決(jue) 定。
厚度:342 nm
圖5 通過測量厚ZnO樣品確定ZnO的光學色散。色散用CP激子模型表示
圖6 薄ZnO樣品。
模型與(yu) 測量用光學色散從(cong) 厚ZnO樣品確定擬合。
厚度:12海裏。
配合度的差異表明薄ZnO樣品的光學性質與(yu) 厚ZnO樣品不同-它看起來更無定形。
圖7 模型與(yu) (2.0 nm ZnO/2.1nm氧化鋁)x60 /Si異質結構樣品的實測數據擬合。
測定了氧化鋁層和氧化鋅層的厚度——所有重複層都假定相同(相同的厚度和分散度)。
通過測量確定ZnO的分散度。
圖8 由異質結構測量測定ZnO色散。
圖9 從(cong) 異質結構測量中確定的ZnO色散被用來分析薄ZnO樣品-以驗證它確實是正確的。
良好的擬合表明ZnO在單一ZnO層和異質結構ZnO層中的色散是相同的。
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