小點厚度測量

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小點厚度測量

高數值孔徑目標問題

嚴(yan) 重的問題是用於(yu) 確定薄膜厚度的幹涉信號的對比度降低。在高數值孔徑物鏡中，光線在膠片中以不同角度折射（見圖1），因此光線在膠片材料中的路徑長度不同。這意味著它們(men) 具有不同的相位差。一旦不同的光線組合在一起並且相位疊加在探測器上，相長幹涉峰/穀和相消幹涉峰/穀之間的對比度就會(hui) 減弱。這種影響的嚴(yan) 重程度取決(jue) 於(yu) 具體(ti) 的膠片疊層和數值孔徑。但是，一般來說，效果隨著厚度的增加而增加。

圖 1 大數值孔徑 (NA) 的小光斑測量

NA 如何影響厚度測量

在矽氧化物測量示例中很容易看出效果。 200nm氧化物的UVVis反射光譜（200-1000nm）的模擬如圖 2 所示。它顯示光譜隨著 NA 的增加而逐漸退化。但變化很小並且很容易糾正。然而，對 2000nm 氧化物的相同模擬（圖 3）顯示 NA 的影響更為(wei) 顯著。

圖2 大數值孔徑對200nm氧化物測量反射光譜的影響。線條代表：0、±30deg(NA=0.5)、±50deg(NA=0.76)、±70deg(NA=94) 和±90deg(NA=1) 

圖3 大數值孔徑對2000nm氧化物測量反射光譜的影響。線條代表：0、±30deg(NA=0.5)、±50deg(NA=0.76)、±70deg(NA=94)和±90deg(NA=1) 

解決(jue) 辦法

TFCompanion 軟件具有校正高 NA 效應的選項（圖 4）。然而，如果幹涉信號已經由於(yu) 其他偽(wei) 影（散射、厚度不均勻性等）而減弱，NA 效應會(hui) 使幹涉條紋幾乎消失，在這種情況 下，軟件校正無濟於(yu) 事。需要根據国产成人在线观看免费网站要求評估物鏡的使用。 如果可能的話，使用低數值孔徑物鏡總是更好。實際上，在所有国产成人在线观看免费网站中，低 NA（理想情況下 NA < 0.5）對測量光譜的影響非常小。

圖 4 校正 TFCompanion 中的 NA 影響。 TFCompanion 有一個(ge) 選項可以在“高ji”選項卡 （主屏幕）中設置測量的 NA–這將包括曲線擬合期間計算中的 NA 校正（通常不需要 FFT 校正）

MProbe 40 MSP 係統使用 NA<0.55 的長工作距離 物鏡。這非常大限度地減少了幾乎所有膠片疊層的測量信號的衰減。此外，長工作距離使得導航到測量位置更加舒適，即使不切換到低放大倍率物鏡也是如此。

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