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OLED厚度測量

發布時間:2024-06-27 13:55:51 瀏覽量:989 作者:Alex

摘要

構成OLED結構的薄膜的計量是至關(guan) 重要的。MProbe UVVis和MProbe UVVis- msp提供了一種廉價(jia) 、可靠、非接觸的計量方法。可以測量材料的厚度和光學常數。本文主要介紹了OLED的厚度測量方法。

正文


OLED厚度測量


OLED結構用於(yu) 從(cong) 電視屏幕到手機的許多国产成人在线观看免费网站中。典型的OLED結構包括夾在電極之間的三個(ge) 薄有機層:HTL(空穴傳(chuan) 輸層)、EML(電子遷移率)或空穴阻塞層和ETL(電子傳(chuan) 輸層)。


圖1 OLED的結構示意圖


構成OLED結構的薄膜的計量是至關(guan) 重要的。MProbe UVVis和MProbe UVVis- msp提供了一種廉價(jia) 、可靠、非接觸的計量方法。可以測量材料的厚度和光學常數。


MProbe UVVis可以測量毯狀(無圖案)樣品,MProbe UVVis-msp可以使用非常小的光斑尺寸在像素級進行測量。


一、測量實例


圖2玻璃上ITO(透明導電氧化物)的測量-使用參數化ITO模型確定厚度和光學常數


圖3 ITO上html層的測量-測量了ITO和html的厚度


圖4 測量ITO上的EML層-測量ITO和EML厚度


圖5 測量ITO上的ETL層-測量ITO和ETL的厚度


圖6 測量ITO上的LiF層-測量ITO和LiF的厚度


二、Alq3和NPD測量實例


OLED的一種很有前途的實現是使用NPD和Alq3聚合物材料。這兩(liang) 種材料都具有有趣的電子結構和光學性質,這取決(jue) 於(yu) 製備條件。因此,測量光學常數色散隨厚度的變化就顯得尤為(wei) 重要。


圖7 采用Alq3和NPD的OLED結構


圖8 玻璃上Alq3層(17nm)的測量。厚度和光常數都是確定的


圖9 Alq3的光學常數(n&k)由測量得到


圖10 玻璃上NPD材料的測量:厚度和光學常數的測定


圖11 NPD材料的光學常數由測量確定


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