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可變形反射鏡

連續鏡麵 可變形鏡

  • 連續鏡麵 可變形鏡
高品質、大衝程、低磁滯、MEMS波前校正變形鏡!

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連續鏡麵 可變形鏡

高品質、大衝(chong) 程、低磁滯、MEMS波前校正變形鏡!

 

關(guan) 鍵詞:變形鏡,DM,Deformable Mirror,MEMS,變形反射鏡,波前像差自適應自適應光學自適應光學係統天文,天文台,MEMS技術,波前,波士頓,Imagin,微變形反射鏡

 

變形鏡,又稱變形反射鏡(DM),主要運用於(yu) 各種自適應光學係統之中,主要用於(yu) 校正波前畸變,它由很多驅動單元組合而成,每個(ge) 驅動單元都有自己獨立的控製器,在外加電壓控製下,變形鏡的鏡麵可以產(chan) 生需要的形變量,從(cong) 而對波前像差進行調製。變形鏡在自適應光學係統中起著重要的作用,是自適應光學係統中的重要部件之一。DM的指標參數關(guan) 係到整個(ge) 自適應光學係統的校正能力和校正精度。微變形反射鏡式可以根據波前調製的需要改變表麵麵形,從(cong) 而糾正波前相位畸變,根據反射麵的不同變形鏡可分為(wei) 連續表麵型和分立表麵兩(liang) 種類型。

我們(men) 是從(cong) 法國Joseph Fourier 大學獨立出來的,主要研發電磁場驅動的MEMS變形鏡(Deformable Mirror),具備高研發實力,可以根據客戶的不同国产成人在线观看免费网站需求定製個(ge) 性化的變形鏡。目前變形鏡的主要国产成人在线观看免费网站領域涵蓋了:天文領域、眼底成像、顯微成像、自由空間光通信自適應光學、激光波前校正、天文望遠鏡天文觀測,天文自適應,大氣湍流校正,激光自適應,虹膜定位、波前像差校正,眼科成像、顯微成像自適應、球差校正、自由空間光通信等。

目前我們(men) 可以生產(chan) 高達820個(ge) 驅動數目的變形鏡DM波前調製量可達80 µm,表麵質量<7 nm RMS,采用目前前沿的拋光工藝,表麵粗糙度<1 nm,變形鏡的響應時間隻有500 us,帶寬可以達到20 KHzMEMS變形鏡可以幫助用戶實現快速和精準的波前校正。

MEMS變形鏡結構緊湊、相較於(yu) 波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調製量大低磁滯性< 1%,高線性度> 97%。相比於(yu) MEMS 靜電變形鏡來說,電磁驅動變形鏡相較於(yu) 壓電變形鏡的優(you) 點在於(yu) 其巨大的變形量,更高的調製精度。

 

MEMS變形鏡主要特點技術優(you) 勢

Ø 80 um 波前調製量

Ø 5 um 相鄰驅動調製量(可用於(yu) 修正低級次大像差波前)

Ø < 7 nm RMS 表麵質量

Ø MEMS 電磁驅動

Ø ± 1% 高穩定性

Ø 400 us 高響應速度

Ø < 3%  高線性度

Ø < 2% 低磁滯性

Ø R> 97% 高質量鍍膜


圖一 相鄰驅動調製圖


圖二 變形鏡高表麵質量


圖三 電磁驅動模型


圖四 高階澤尼克多項式修正


圖5 高調製穩定性(±1% over 30s)


圖6 高質量鍍膜


MEMS變形鏡国产欧美在线型號及參數


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